恒运昌：公司引入用于取得和保持真空环境的真空泵、用于流体准确操控的质量流量计以及镀膜配备的等离子体直流电源等中心零部件首页 > 产品中心

恒运昌：公司引入用于取得和保持真空环境的真空泵、用于流体准确操控的质量流量计以及镀膜配备的等离子体直流电源等中心零部件

型号：LDX-K3050
输出电压：0-30V 输出电流：0-50A
来源：大鱼游戏官网
发布时间：2026-07-15 06:31:22
证券日报网7月6日讯，恒运昌在承受调研者发问时表明，公司根据等离子体发生条件和反响腔真空环境的
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证券日报网7月6日讯，恒运昌在承受调研者发问时表明，公司根据等离子体发生条件和反响腔真空环境的实践的需求，引入用于取得和保持真空环境的真空泵、用于流体准确操控的质量流量计以及用于真空镀膜配备的等离子体直流电源等中心零部件。公司引入产品和自研产品一起协作，共同为下流客户供给等离子体工艺解决方案。（1）真空泵：在半导体、工业镀膜等工艺中，将硅片或其他资料放入反响腔室后，需要使反响腔取得真空环境。真空泵是反响腔获取真空环境的中心零部件，用于在反响腔中发生和保持线）质量流量计：在反响腔获取真空环境后，需要向反响腔室通入工艺气体，工艺气体被等离子体射频电源电离发生等离子体。此刻一定要经过质量流量计准确计量和运送。质量流量计是反响腔供气体系的中心零部件，用于对气体等进行质量流量的丈量和操控。（3）等离子体直流电源：公司引入的等离子体直流电源大多数都用在真空镀膜配备，即在反响腔内运用等离子体直流电源对靶材施加电压，使气体离子化，发生等离子体。这些离子在电场的效果下加快并炮击靶材，溅射出原子或分子，终究沉积在基材上，完结镀膜。

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